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國立陽明交通大學儀器資源中心
National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center
| Differential scanning calorimetry | National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center | Differential Scanning Calorimeter:差示掃描量熱儀,簡稱DSC。
樣品和參比處於溫度相同的均溫區，當樣品沒有熱變化的時候，樣品端和參比端的溫度均按照預先設定的溫度變化，溫差ΔT=0。
當樣品發生變化如熔融，提供給樣品的熱量都用來維持樣品的熔融，參比端溫度仍按照爐體升溫，參比端溫度會高於樣品端溫度從而形成了溫度差。
把這種溫度差的變化以曲線記錄下來，就形成了DSC的原始資料。
根據原始資料測定一些轉變的溫度，熱焓。這些轉變可能包括相轉變，熔化（結晶），氧化，固化，玻璃化轉變，或其它熱力學，動力學過程。它也可以用來測量材料的熱容。 |
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Instrument Chinese Name
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【TA000500】差示掃描量熱儀
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【TA000500】差示掃描量熱儀
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Instrument English Name
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Differential scanning calorimetry
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Instrument Category
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Thermal Analysis System
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):999
Number of Reservations(external):1000
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Billing Trial Calculation
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2
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國立陽明交通大學儀器資源中心
National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center
| Simultaneous DSC-TGA | National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center | SDT 是一台能同時決定材料在給定的溫度掃描或時間歷程下熱焓 Enthalpy) 與重量的改變，此熱焓變化往往是材料內部各種物理或化學狀態的改變所外顯的能量吸收或釋放所衍生的；而重量損失則是依照材料成分、熱穩定性等不同而不同。因 SDT的操作範圍可至 1500 ℃℃，故在此範圍內探索與研發各式各樣高分子、陶瓷、金屬和其它無機材料的結構與熱性質來說 SDT 實為不可或缺的工具。 |
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Instrument Chinese Name
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【TA000600】 TGA / DSC同步熱分析儀
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【TA000600】 TGA / DSC同步熱分析儀
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Instrument English Name
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Simultaneous DSC-TGA
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Instrument Category
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Thermal Analysis System
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):999
Number of Reservations(external):1000
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Billing Trial Calculation
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3
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國立陽明交通大學儀器資源中心
National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center
| 600 MHz NMR Sectroscopy Analysis System | National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center | 一、廠牌：美國 Agilent。
二、服務項目 (1) 本儀器配有低溫恆溫系統（最低可至 -20 °C），適合長時間之一維、二維低溫實驗。 (2) 變溫實驗。 (3) DOSY光譜。 (4) 異核實驗。 |
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Instrument Chinese Name
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【NMR005100】600 MHz 核磁共振儀
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【NMR005100】600 MHz 核磁共振儀
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Instrument English Name
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600 MHz NMR Sectroscopy Analysis System
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Instrument Category
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Nuclear Magnetic Resonance Spectrometer
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):95
Number of Reservations(external):99
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Billing Trial Calculation
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4
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國立陽明交通大學儀器資源中心
National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center
| AccuTOF GCX HRMS | National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center | 一、請於申請單上勾選送測項目，並註明(1)溶解樣品之溶劑(2)預期分子量(3)預期分子式(HR項目必塡)。
二、敏感性樣品請先以電話預約實驗時間再行送樣，否則樣品損毀自行負責。
三、廠牌型號：JEOL/ AccuTOF GCX
四、申訴專線03-5131534徐忠璇小姐。 |
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Instrument Chinese Name
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【MS000500】高解析氣相層析質譜儀
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【MS000500】高解析氣相層析質譜儀
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Instrument English Name
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AccuTOF GCX HRMS
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Instrument Category
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Mass Spectrometer
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):100
Number of Reservations(external):94
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Billing Trial Calculation
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| Basic | 113 | LREI |
| LREI | 100 | 1,000 | 0 | 0 | No discount |
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| Basic | 113 | HREI |
| HREI | 150 | 1,500 | 0 | 0 | No discount |
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| Basic | 113 | LRFD or LRFD or LRFI |
| LRFD or LRFD or LRFI | 120 | 1,200 | 0 | 0 | No discount |
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| Basic | 113 | HRFD or HRFI or HRCI |
| HRFD or HRFI or HRCI | 200 | 2,000 | 0 | 0 | No discount |
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| Basic | 113 | GC-LREIMS |
| GC-LREIMS | 220 | 2,200 | 0 | 0 | No discount |
| 含主要訊號自動比對NIST, Wiley資料庫。 |
| Basic | 113 | GC-HREIMS |
| GC-HREIMS | 250 | 2,500 | 0 | 0 | No discount |
| 樣品前處理及分析時間以1小時為限，含主要訊號分子式推測 |
| Basic | 113 | GC-HRCIMS |
| GC-HRCIMS | 300 | 3,000 | 0 | 0 | No discount |
| 樣品前處理及分析時間以1小時為限，含主要訊號分子式推測 |
| Basic | 113 | GC-HRFIMS |
| GC-HRFIMS | 330 | 3,300 | 0 | 0 | No discount |
| 樣品前處理及分析時間以1小時為限，含主要訊號分子式推測 |
| Basic | 113 | PY or TD-GC-EIMS |
| PY or TD-GC-EIMS | 300 | 3,000 | 0 | 0 | No discount |
| 含主要訊號自動比對NIST, Wiley資料庫 |
| Basic | 113 | GC-TCD(warm up) |
| GC-TCD(warm up) | 100 | 1,000 | 0 | 0 | No discount |
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| Basic | 113 | GC-TCD |
| GC-TCD | 100 | 1,000 | 0 | 0 | No discount |
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| Basic | 113 | Quantitative calibration |
| Quantitative calibration | 1,000 | 10,000 | 0 | 0 | No discount |
| 單一目標物檢量線基本費10000元，每增加一目標物或樣品加收3000元
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| Basic | 113 | sample or target fee for Quantitative analysis |
| sample or target fee for Quantitative analysis | 300 | 3,000 | 0 | 0 | No discount |
| 每增加一目標物或樣品加收3000元 |
| Basic | 113 | Manual data processing |
| Manual data processing | 100 | 1,000 | 0 | 0 | No discount |
| 分子式推測，F-search資料庫比對，干擾判定等(高分子數據判讀最少需2小時) |
| Basic | 113 | Internal standard method semi-quantitative basic fee |
| Internal standard method semi-quantitative basic fee | 500 | 5,000 | 0 | 0 | No discount |
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國立陽明交通大學儀器資源中心
National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center
| Aligner | National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center | 本機台開放使用者經訓練考核後自行操作。如自行操作，則不必分擔代工費。
一、廠牌：台灣科毅科技 (光罩對準曝光機)
二、服務項目：各種元件之對準曝光
三、計費：
*只上光阻：每片500元
*代工費(不須對第二道mask)900元(3片以內)
*代工費(須對第二道mask) 1400元(3片以內)
費用（片）：1200~1400
(製程如右: 上HMDS．coating光阻、軟硬烤、顯影、曝光、顯微鏡確認圖形)(整個製程不含Wafer及Mask) |
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Instrument Chinese Name
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【SEMI003000】光罩對準曝光機
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【SEMI003000】光罩對準曝光機
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Instrument English Name
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Aligner
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Instrument Category
|
Semiconductor
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):46
Number of Reservations(external):41
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Billing Trial Calculation
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6
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國立陽明交通大學儀器資源中心
National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center
| Atomic Layer Deposition System | National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center | 1.沉積Al2O3、HfO2、ZrO2、TiN、TiO2薄膜。
2.雙腔體：Chamber A－前段介電層薄膜沉積，Chamber B－後段介電層和金屬薄膜沉積。
3.可進行熱沉積(thermal deposition)及電漿輔助沉積(plasma-enhanced deposition)。
4.廠牌： Veeco Fiji-G2 DCS
5.服務項目：沉積Al2O3、HfO2、ZrO2、TiN、TiO2薄膜。
6.計費：
*代工費（元/3個run或6小時）：900元/3個run或6小時
*製作費（元/小時）：309-5150元
*材料費（元/cycle）：3.6-4.6元/CYCLE
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Instrument Chinese Name
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【SEMI004000】原子層沉積系統
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【SEMI004000】原子層沉積系統
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Instrument English Name
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Atomic Layer Deposition System
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Instrument Category
|
Semiconductor
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):19
Number of Reservations(external):21
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Billing Trial Calculation
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7
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國立陽明交通大學儀器資源中心
National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center
| Cold Field Emission Scanning Electron Microscope (Hitachi SU8010) & Energy Dispersive Spectrometer | National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center | 1.須自備銅膠、碳膠導電膠帶、stage。
2.粉末試片及磁性材料(鐵鈷鎳)請勿預約本設備。
3.檔案可用ftp或mail傳送禁止使用隨身碟。
4.預約上有問題請與技術員聯絡。
一、廠牌：Hitachi SU-8010
二：服務項目：
*電子顯微鏡觀察(SEM)：高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構
*表面能階分析(EDS)：特定位置表面材料成分電子能階光譜分析，用以判斷表面材料或污染的組成
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Instrument Chinese Name
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【EM023600】冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器
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【EM023600】冷場發射掃描式電子顯微鏡暨能量散佈分析儀器
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Instrument English Name
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Cold Field Emission Scanning Electron Microscope (Hitachi SU8010) & Energy Dispersive Spectrometer
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Instrument Category
|
Electron Microscope
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):108
Number of Reservations(external):49
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Billing Trial Calculation
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8
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國立陽明交通大學儀器資源中心
National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center
| Crygenic Cathodoluminescence system | National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center | 低溫陰極螢光分析系統(暨SEM/EDS)可針對表面微結構觀察分析螢光特性及元素成分
一、廠牌：JEOL JSM7001F
二、服務項目：
1.本設備之博士後研究人員提供委託操作CL(陰極螢光分析系統)與SEM(掃瞄式電子顯微鏡)及服務諮詢, 諮詢服務時間：每週一至五上午八時到下午五時,地點：基礎科學大樓(工程三館)SC023室
2.室溫、低溫(6K)及變溫陰極螢光分析
三、計費：
1.室溫陰極螢光分析：學術單位：NT190/時；非學術單位：NT330/時
2.低溫及變溫螢光分析：學術單位：NT440/時；非學術單位：NT660/時 |
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Instrument Chinese Name
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【OTHER0001400】低溫陰極螢光分析系統(暨SEM/EDS)
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【OTHER0001400】低溫陰極螢光分析系統(暨SEM/EDS)
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Instrument English Name
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Crygenic Cathodoluminescence system
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Instrument Category
|
Other
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):0
Number of Reservations(external):0
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Billing Trial Calculation
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9
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國立陽明交通大學儀器資源中心
National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center
| Die-electric Material RIE 400iP | National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center | 本機台開放使用者經訓練考核後自行操作。如自行操作，則不必分擔代工費。
一、廠牌：日本SamCo公司製造 RIE200L、400iP
二、服務項目：蝕刻二氧化矽、氮化矽、碳化矽及未經後段製程之High-K(ALD)等材料
三、計費：
*代工費：900元/2小時
*開機費：2300~3500元
*製作費介電蝕刻(SiO2,SiNx,High K)：2300~3500元 |
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Instrument Chinese Name
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【SEMI002500】介電性材料活性離子蝕刻系統
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【SEMI002500】介電性材料活性離子蝕刻系統
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Instrument English Name
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Die-electric Material RIE 400iP
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Instrument Category
|
Semiconductor
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):47
Number of Reservations(external):50
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Billing Trial Calculation
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10
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國立陽明交通大學儀器資源中心
National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center
| Dual beam(focused ion beam & electron beam)System | National Yang Ming Chiao Tung Univ. Instrumentation Resource Center | 規格：
1.電子源：場發射式
2.離子源：Ga液態金屬離子源
3.加速電壓：電子束—200V~30kV、 離子束—500V~30kV
4.影像解析度：SEM—1.5nm at 15kV、FIB—2.5nm at 30kV
5.工作距離：5mm
6.試片規格：直徑(10mm dia ) x 高度 (<0.50cm)
7.放大倍率SEM: 4x~1Mx、FIB: 150x~1Mx
8.GIS、 Pt、SiO2
廠牌：TESCAN GAIA3
服務項目：
1.穿透式電子顯微鏡試 in-situ及ex-situ TEM試片製備
2.奈米結構製程：奈米材料、元件之特定圖形結構之製程及觀察
3.剖面試片之製作及觀察：剖面試片切割及影像記錄
4.白金之沉積：白金鍍層及影像記錄
5.製程上異常觀察分析：固態電子元件之線路修復、切割、鍍層及影像記錄
6.晶相分析及觀察
7.本機台加裝能量散佈質譜器(EDX)，可作元素成分之定性及半定量之分析 |
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Instrument Chinese Name
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【EM0000013900】聚焦離子束與電子束顯微系統
|
【EM0000013900】聚焦離子束與電子束顯微系統
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Instrument English Name
|
Dual beam(focused ion beam & electron beam)System
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Instrument Category
|
Electron Microscope
|
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Instrument Status
|
服務(On Service)
|
Number of Reservations
(within a month)
|
Number of Reservations(Internal):0
Number of Reservations(external):0
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Billing Trial Calculation
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