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1
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國立臺灣科技大學貴重儀器共用計畫
NTUST Precious Instrumentation Center
| Atomic Force Microscope | NTUST Precious Instrumentation Center | 1.廠牌及型號：Bruker Dimension ICON
2.規格:
(1) 影像掃描解析度:1 nm
(2) 掃描範圍:90 × 90 × 10 μm
(3) 樣品載台(具有真空吸盤):最大直徑210 mm，厚度15 mm
(4) 抗震外殼: 主機外殼含氣浮式隔音防震平台，具有隔音、減震功能，能有效降低量測時所發生之雜訊
(5) 服務項目: 表面形貌及相圖(TappingMode、ScanAsyst Mode、Contact Mode)、磁力顯微術(MFM Mode)、靜電力顯微術(EFM Mode)、表面電位(KPM Mode)、導電顯
微術 (C-AFM Mode)
3.★★★首次量測請填寫委託評估表(下載位置https://reurl.cc/jDxOzD)，並寄至技術員信箱，待確認樣品量測可行性後，再預約時段 |
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Instrument Chinese Name
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【OTHER003500】多功能原子力顯微鏡
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【OTHER003500】多功能原子力顯微鏡
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Instrument English Name
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Atomic Force Microscope
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Instrument Category
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Other
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):0
Number of Reservations(external):0
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Billing Trial Calculation
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| | | | | | | | | | | |
| Basic | 114 | Advanced Basic Fee |
| Advanced Basic Fee | 600 | 1,200 | 300 | 0 | No discount |
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| Basic | 114 | Standard Basic Fee |
| Standard Basic Fee | 500 | 1,100 | 200 | 0 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Surface Topography |
| Surface Topography | 300 | 1,400 | 300 | 0 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Mechanical,electrical and magnetic property |
| Mechanical,electrical and magnetic property | 400 | 1,400 | 400 | 0 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Standard Probe |
| Standard Probe | 1,200 | 1,200 | 1,200 | 0 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Electrical and Magnetic Probe |
| Electrical and Magnetic Probe | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 0 | No discount |
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| Basic | 114 | CD disc |
| CD disc | 10 | 10 | 10 | 0 | No discount |
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 | Loading… |
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2
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國立臺灣科技大學貴重儀器共用計畫
NTUST Precious Instrumentation Center
| Field Emission Gun Transmission Electron Microscope | NTUST Precious Instrumentation Center | ●儀器設備說明:
規格:
(1)加速電壓: 200 KV、
(2)TEM分辨率:高解析影像條件 A. Point Resolution：≦0.23nm (200 kV), B. Lattice Resolution：≦0.1nm,成份與結構分析條件 3 nm、
(3) 能量分散光譜儀 (EDS):
(i)機型: EDAX ,
(ii)元素偵測範圍: B ~ U (原子序 5~92),
(iii)解析度: 133 eV、
(4) 双傾斜試片座的最大傾斜角度: α±30˚、β±20˚ 。
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Instrument Chinese Name
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【EM0000017504】場發射槍穿透式電子顯微鏡(200KV：附能量散布分析儀）
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【EM0000017504】場發射槍穿透式電子顯微鏡(200KV：附能量散布分析儀）
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Instrument English Name
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Field Emission Gun Transmission Electron Microscope
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Instrument Category
|
Electron Microscope
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):0
Number of Reservations(external):0
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Billing Trial Calculation
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3
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國立臺灣科技大學貴重儀器共用計畫
NTUST Precious Instrumentation Center
| Field Emission scanning/ transmission electron microscope | NTUST Precious Instrumentation Center | 儀器設備說明:
˙規格:
(1)加速電壓: 200 KV
(2)TEM分辨率:0.12nm
(3)STEM HAADF分辨率: 0.16 nm
(4)Super-X EDS 系統: 對稱設計的4個SDD，無窗式
(5)快速 EDS 收集成像: 像素停留時間10 µs
(6)EDX 立体角: 0.9 srad
(7)camara length: 12–5700 mm
(8)双傾斜試片座的最大傾斜角度: ±30˚
(9)STEM Detector:BF、DF2、DF4、HAADF
服務項目：
針對不同類型材料，提供高解析度的影像觀察及微區繞射分析，也可進行樣品不同維度的影像及成分分析。
˙微結構觀察: 明視野、暗視野影像分析；高解析影像分析。
˙電子繞射分析。
˙不同維度之EDS定性及半定量成分分析。
˙EDS搭配STEM的BF, DF2, DF4, HAADF偵測器同步獲取影像和光譜訊號可進行光譜原素全畫面(full frame)、選區(selected area)和線掃描(line scan)等掃描分析模式。
˙NBD strain分析。
˙電子束體層攝影術影像及成分分析(S/TEM and EDS)。
˙樣品升溫反應資訊。
˙數據皆採數位電子影像系統存取，委託者請攜帶DVD光碟片存取檔案，一律禁用隨身碟。
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Instrument Chinese Name
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【EM011800】場發射掃描/穿透式電子顯微鏡
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【EM011800】場發射掃描/穿透式電子顯微鏡
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Instrument English Name
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Field Emission scanning/ transmission electron microscope
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Instrument Category
|
Electron Microscope
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):0
Number of Reservations(external):0
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Billing Trial Calculation
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| | | | | | | | | | | |
| Basic | 114 | Operated by the qualified operators |
| Operated by the qualified operators | 1,500 | 1,500 | 0 | 0 | No discount |
| 每一時段以3小時計，未滿者亦以一時段計費。
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| Basic | 114 | Operated by the users his / her own |
| Operated by the users his / her own | 1,200 | 1,200 | 1,200 | 1,200 | No discount |
| 每一時段以3小時計，未滿者亦以一時段計費。
|
| Basic | 114 | CCD image |
| CCD image | 20 | 20 | 20 | 20 | No discount |
| 數據皆採數位電子影像系統存取，委託者請攜帶DVD光碟片存取檔案，一律禁用USB隨身碟。 |
| Basic | 114 | EDS |
| EDS | 20 | 20 | 20 | 20 | No discount |
| 全能譜定性、半定量分析 |
| Basic | 114 | EDS Mapping |
| EDS Mapping | 400 | 400 | 400 | 400 | No discount |
| 此數據範圍內，可另外存取line scan分析數據。 |
| Basic | 114 | Additional sample |
| Additional sample | 200 | 200 | 200 | 200 | No discount |
| 1時段以放置1個樣品為基本，若需更換樣品，每件增加收費200元。 |
| Basic | 114 | Digital Versatile Disc |
| Digital Versatile Disc | 10 | 10 | 10 | 10 | No discount |
| 數據皆採數位電子影像系統存取，委託者請攜帶DVD光碟片存取檔案，一律禁用隨身碟。 |
| Basic | 114 | Overtime (Operated by the qualified operators) |
| Overtime (Operated by the qualified operators) | 500 | 500 | 0 | 0 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Overtime (Operated by the users his / her own) |
| Overtime (Operated by the users his / her own) | 400 | 400 | 400 | 400 | No discount |
| |
| Basic | 114 | NBD |
| NBD | 10,000 | 10,000 | 0 | 0 | No discount |
| |
| Basic | 114 | MEMS device |
| MEMS device | 6,000 | 6,000 | 6,000 | 6,000 | No discount |
| 特殊樣品加熱分析實驗 |
| Loading… |
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4
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國立臺灣科技大學貴重儀器共用計畫
NTUST Precious Instrumentation Center
| 6500F Field Emission Scanning Electron Microscope | NTUST Precious Instrumentation Center | 1.解析度(SEI):高解析影像條件1.5nm(15KV)
2.能量分散光譜儀(EDS oxford)：元素偵測範圍:B~U(原子序5~92)，解析度:133eV
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Instrument Chinese Name
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【EM0000007900】6500F高解析度場發射掃描式電子顯微鏡
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【EM0000007900】6500F高解析度場發射掃描式電子顯微鏡
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Instrument English Name
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6500F Field Emission Scanning Electron Microscope
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Instrument Category
|
Electron Microscope
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):0
Number of Reservations(external):0
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Billing Trial Calculation
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5
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國立臺灣科技大學貴重儀器共用計畫
NTUST Precious Instrumentation Center
| 7900F Field Emission Scanning Electron Microscope | NTUST Precious Instrumentation Center | 1.高解析度場發射掃描式電子顯微鏡(FE SEM)
解析度(SEI):高解析影像條件1.5nm(15KV)
放大倍率:10x~1000,000x 影像輸出:燒錄數位影像紀錄
2.能量分散光譜儀(EDS)
元素偵測範圍:Be~U(原子序4~92)
解析度:133eV
3.電子背向散射繞射儀(EBSP)
軟體功能:a.結晶方位分析(依據菊池線分析) b.微區晶相圖像
c.晶軸及反晶軸圖像
貳.試片要求
1.SEI及EDS試片尺寸:直徑25mm,高度20mm
2.EBSP試片尺寸:直徑10mm,高度10mm
參.開放時段
週一.周二.週四上午9:00~12:00以及下午14:00~17:00各一個時段；排定時段欲取消須於3日前通知，排定時段30分鐘內未到者，逕予以取消並扣基本費900元。 |
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Instrument Chinese Name
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【EM011900】7900F 高解析度場發射掃描式電子顯微鏡
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【EM011900】7900F 高解析度場發射掃描式電子顯微鏡
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Instrument English Name
|
7900F Field Emission Scanning Electron Microscope
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|
Instrument Category
|
Electron Microscope
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|
Instrument Status
|
服務(On Service)
|
Number of Reservations
(within a month)
|
Number of Reservations(Internal):0
Number of Reservations(external):0
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|
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Billing Trial Calculation
|
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6
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國立臺灣科技大學貴重儀器共用計畫
NTUST Precious Instrumentation Center
| Field Emission Gun Transmission Electron Microscopy | NTUST Precious Instrumentation Center | 儀器設備說明：
規格：
(1)加速電壓： 200 KV
(2)TEM分辨率：
高解析影像條件 A. Point Resolution：≦0.23nm (200 kV)
B. Lattice Resolution：≦0.1nm
成份與結構分析條件 3 nm
(3) 能量分散光譜儀 (EDS)：
(i)機型: EDAX
(ii)元素偵測範圍: B ~ U (原子序 5~92)
(iii)解析度: 133 eV
(4) 雙傾斜試片座的最大傾斜角度：α±30˚、β±20˚
服務項目：
針對不同類型材料，提供高解析度的影像觀察及微區繞射分析，也可進行樣品成分分析。
微結構觀察: 明視野、暗視野影像分析；高解析影像分析。
電子繞射分析
元素定點定性及半定量成分分析。
EDS搭配STEM的HAADF偵測器同步獲取影像和光譜訊號可進行光譜元素全畫面(full frame)、選區(selected area)和線掃描(line scan)等掃描分析模式；本機台目前此分析功能，偶會受環境因素影響，使電子束不穩而有無法正常分析的情形，因非屬常態，故本情形僅提供擬預約使用時之參考，仍須視使用當日電子束穩定情況而定。 |
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Instrument Chinese Name
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【EM0000017500】場發射穿透式電子顯微鏡
|
【EM0000017500】場發射穿透式電子顯微鏡
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Instrument English Name
|
Field Emission Gun Transmission Electron Microscopy
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Instrument Category
|
Electron Microscope
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Instrument Status
|
服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
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Number of Reservations(Internal):0
Number of Reservations(external):0
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Billing Trial Calculation
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7
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國立臺灣科技大學貴重儀器共用計畫
NTUST Precious Instrumentation Center
| Hysitron TI 980 TriboIndenter | NTUST Precious Instrumentation Center | ****************************************************************************************************************************************************************************************************************
【訊息公告】
1.本儀器「大荷重」配件，可實施10N以上的縱向加載，能提供較硬質或膜厚4um以上的薄膜附著力測試，各界可多加利用。
2.有大荷重委託需求者，請來信或來電討論確認!!
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一、設備功能
(校內、外及產業單位擬委託第4、5、6之量測項目，請須先來電討論評估後再預約)
1.奈米壓痕、硬度(Hardness)、簡化模數(Reduced Modulus)、壓痕殘餘深度、力相關曲線圖
2.2D和3D表面形貌掃描圖(SPM)、表面粗糙度(Roughness)
3.奈米刮痕、摩擦係數、薄膜附著力、刮痕殘餘深度、力相關曲線圖
4.磨耗測試(Wear，單道直線反覆式刮痕)、磨耗深度
5.奈米動態機械性質分析(Nano DMA)
6.快速打點(XPM，100點/組，不足100點以1組計費)
二、設備規格
大荷重模組
1.壓痕：加載方式:縱向加載；偵測數據:縱向力量和位移；最大力量＞10 N(縱向)；最大位移≥80 μm；位置控制精度:±1μm。
2.刮痕：加載方式:縱向加載；偵測數據:橫縱向力量和位移；最大力量:5 N(橫向)；最大位移150 mm；位置控制精度:±1μm。
小荷重模組
1.壓痕：加載方式:縱向加載；偵測數據:縱向力量和位移；最大力量＜10 mN (縱向)；最大位移≥5 μm；位置控制精度:±5nm；原位掃描範圍:1 X 1μm~75 X 75μm；動態力學頻率:0.1H~300Hz；最大動態振幅力:5mN；最大動態振幅:2.5μm。
2.刮痕：加載方式:縱向加載；偵測數據:橫縱向力量和位移；最大力量:2 mN(橫向)；最大位移15μm；位置控制精度:±5nm；原位掃描範圍:1 X 1μm~75 X 75μm。
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Instrument Chinese Name
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【OTHER001900】奈米壓痕材料機械性質分析儀
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【OTHER001900】奈米壓痕材料機械性質分析儀
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Instrument English Name
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Hysitron TI 980 TriboIndenter
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Instrument Category
|
Other
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Instrument Status
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服務(On Service)
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Number of Reservations
(within a month)
|
Number of Reservations(Internal):0
Number of Reservations(external):0
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|
|
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|
|
Billing Trial Calculation
|
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8
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國立臺灣科技大學貴重儀器共用計畫
NTUST Precious Instrumentation Center
| Multifunctional X-ray Diffractometer | NTUST Precious Instrumentation Center | 1. 中文名稱：多功能X光繞射儀
2. 英文名稱：Multifunctional X-ray Diffractometer
3. 廠牌及型號：Bruker D8 Advance Plus
4. 規格
(1) X光源：Cu靶
(2) 最大功率：3kW
(3) 測量幾何：直立式測角儀 Theta/Theta
(4) 2θ掃描範圍：0.15° 至 150°
(5) 最小步幅：0.0001°
(6) 入射光源模組：自動發散狹縫、Göbel反射鏡、Ge(004)單光器
(7) 繞射光源模組：自動防散射狹縫、0.2° Soller準直器、自動強度衰減器
(8) 化合物半導體偵測器：LYNXEYE XE-T，能量解析小於 380eV
(9) 動態光束優化系統（DBO）：適用粉末繞射之極低2θ起始角度
(10) Compact Cradle Plus：提供Z/Chi/Phi三軸自由度
(11) TWIST-TUBE：快速點和線光源切換
5.功能項目 (備註：開放服務項目以實際公告為主)
(1)極低起始角廣角繞射分析(WXRD)、低掠角繞射分析(GID)、薄膜全反射分析(XRR)、搖擺曲線分析(Rocking Curve)、高解析繞射分析(HRXRD)
(2)殘留應力分析(Residual stress)、快速倒易空間(RSM) (**此兩項量測尚準備中，可討論)
(注意 : 以上量測僅提供圖譜數據，不提供鑑定或進階分析服務)
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Instrument Chinese Name
|
【XRD005500】多功能 X 光繞射儀(提供薄膜量測為主)
|
【XRD005500】多功能 X 光繞射儀(提供薄膜量測為主)
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Instrument English Name
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Multifunctional X-ray Diffractometer
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|
Instrument Category
|
X-Ray Diffractometer
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|
Instrument Status
|
服務(On Service)
|
Number of Reservations
(within a month)
|
Number of Reservations(Internal):0
Number of Reservations(external):0
|
|
|
|
|
|
Billing Trial Calculation
|
| | | | | | | | | | | |
| Basic | 114 | Base Fee |
| Base Fee | 400 | 2,000 | 200 | 1,000 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Ultra-Low Angle X-ray Diffraction |
| Ultra-Low Angle X-ray Diffraction | 100 | 500 | 100 | 500 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Grazing Incidence Diffraction |
| Grazing Incidence Diffraction | 200 | 1,000 | 200 | 1,000 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Thin Film X-ray Reflectivity |
| Thin Film X-ray Reflectivity | 200 | 1,000 | 200 | 1,000 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Rocking Curve |
| Rocking Curve | 300 | 1,500 | 300 | 1,500 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Residual Stress |
| Residual Stress | 300 | 1,500 | 300 | 1,500 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Rapid Reciprocal Space Mapping |
| Rapid Reciprocal Space Mapping | 300 | 1,500 | 300 | 1,500 | No discount |
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| Basic | 114 | High-Resolution X-ray Diffraction |
| High-Resolution X-ray Diffraction | 300 | 1,500 | 300 | 1,500 | No discount |
| |
| Loading… |
|
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9
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國立臺灣科技大學貴重儀器共用計畫
NTUST Precious Instrumentation Center
| Ultramicrotome (Leica EM UCT6 and EM FC6 and EM KMR2 (Glass Knife Maker)) | NTUST Precious Instrumentation Center | |
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Instrument Chinese Name
|
【EM0000017506】冷凍超薄切片機
|
【EM0000017506】冷凍超薄切片機
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|
Instrument English Name
|
Ultramicrotome (Leica EM UCT6 and EM FC6 and EM KMR2 (Glass Knife Maker))
|
|
Instrument Category
|
Electron Microscope
|
|
Instrument Status
|
服務(On Service)
|
Number of Reservations
(within a month)
|
Number of Reservations(Internal):0
Number of Reservations(external):0
|
|
|
|
|
|
Billing Trial Calculation
|
| | | | | | | | | | | |
| Basic | 114 | Grant Funded Assisted Use-[Room temperature] sectioning |
| Grant Funded Assisted Use-[Room temperature] sectioning | 1,000 | 1,000 | 1,000 | 1,000 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Grant Funded Self Use-[Room temperature] sectioning-Bring your own tools |
| Grant Funded Self Use-[Room temperature] sectioning-Bring your own tools | 500 | 500 | 500 | 500 | No discount |
| 每次預約為一時段(3小時)，如不足3小時以3小時做計算，超過3小時則以超時費用(150元/小時)累加計價。 |
| Basic | 114 | Grant Funded Self Use-[Room temperature sectioning]-Without tools |
| Grant Funded Self Use-[Room temperature sectioning]-Without tools | 1,000 | 1,000 | 1,000 | 1,000 | No discount |
| 每次預約為一時段(3小時)，如不足3小時以3小時做計算，超過3小時則以超時費用(150元/小時)累加計價。 |
| Basic | 114 | Grant Funded Assisted Use-[Cryo temperature sectioning] |
| Grant Funded Assisted Use-[Cryo temperature sectioning] | 3,000 | 3,000 | 3,000 | 3,000 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Grant Funded Self Use-[Cryo temperature sectioning]-With tools |
| Grant Funded Self Use-[Cryo temperature sectioning]-With tools | 1,800 | 1,800 | 1,800 | 1,800 | No discount |
| 每次預約為一時段(3小時)，如不足3小時以3小時做計算，超過3小時則以超時費用(500元/小時)累加計價。 |
| Basic | 114 | Grant Funded Self Use-[Cryo temperature sectioning]-Without tools |
| Grant Funded Self Use-[Cryo temperature sectioning]-Without tools | 2,300 | 2,300 | 2,300 | 2,300 | No discount |
| 每次預約為一時段(3小時)，如不足3小時以3小時做計算，超過3小時則以超時費用(500元/小時)累加計價。 |
| Basic | 114 | Grant Funded Self Use-[Room temperature sectioning]-Overtime fee |
| Grant Funded Self Use-[Room temperature sectioning]-Overtime fee | 150 | 150 | 150 | 150 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Grant Funded Self Use-[Cryo temperature sectioning]-Overtime fee |
| Grant Funded Self Use-[Cryo temperature sectioning]-Overtime fee | 500 | 500 | 500 | 500 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Copper grid |
| Copper grid | 200 | 200 | 200 | 200 | No discount |
| |
| Basic | 114 | Liquid nitrogen for cryo-sectioning |
| Liquid nitrogen for cryo-sectioning | 250 | 250 | 250 | 250 | No discount |
| |
| Loading… |
|
|
|
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10
|
國立臺灣科技大學貴重儀器共用計畫
NTUST Precious Instrumentation Center
| X-ray Photoelectron Spectroscopy | NTUST Precious Instrumentation Center | 儀器設備說明：
儀器購置時間：2021年10月
開放服務時間：2022年04月
放置地點：工程一館145實驗室 (E1-145 Lab)
廠牌型號： ULVAC-PHI. Inc. / PHI 5000 VersaProbe Ⅲ
規格:
(1) 1.X-ray光源：鋁Kα單光X光源系統
(2) 2.能量解析度：對Ag 3d5/2 峰，半高寬≦0.5 eV
(3) 3.分析面積：10 μm (圓形) ~ 1400 μm×1400 μm(矩形)
(4) 4.分析室最佳真空度≒6.7×10-8 Pa
(5) 5.歐傑電子槍：LaB6燈絲 (0.2~10 kV)，光束直徑≧100 nm
(6) 6.氬離子槍：離子束能量調整範圍為 0.5keV - 5 keV
(7) 7.濺射離子槍：碳60 離子槍，最大加速電壓為20 kV
(8) 8.雙射束源電荷補償系統：解析度在聚對苯二甲酸乙二酯中O=C-O C1s半高寬＜0.85 eV
服務項目：
A. X射線光電子能譜儀 (X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)：
可對於物質表面進行定性及定量的化學分析，可得知相關元素鍵結狀態訊息和百分比的含量，基本功能有全能譜圖、單元素能譜圖、元素線掃描、元素影像掃描、縱深分析、角解析。
B. 掃描式歐傑能譜儀 (Auger electron spectroscopy, SAM)：
可對於微區表面進行定性及定量的化學分析，可得知相關元素鍵結狀態訊息和百分比的含量，基本功能有全能譜圖、單元素能譜圖、元素線掃描、元素影像掃描、縱深分析。
C. 紫外光電子能譜 (Ultraviolet photoelectron spectroscopy, UPS)：
利用紫外光照射樣品所激發出的光電子提供有關價帶的能級信息(如：VB,WF, EF)。
D. 低能量反光電子能譜 (Low Energy Inverse Photoemission Spectroscopy, LEIPS)：
通過將低能量電子束施加到樣品表面，以高分辨率和靈敏度及低樣品損壞檢測近紫外範圍內發射的光子確定未佔據能級的能量(如EA, CB)。與UPS圖譜結合，可得出能帶間隙。 |
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Instrument Chinese Name
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【ESCA003600】X射線光電子能譜儀
|
【ESCA003600】X射線光電子能譜儀
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Instrument English Name
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X-ray Photoelectron Spectroscopy
|
|
Instrument Category
|
Electron spectrometer
|
|
Instrument Status
|
服務(On Service)
|
Number of Reservations
(within a month)
|
Number of Reservations(Internal):0
Number of Reservations(external):0
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Billing Trial Calculation
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