雙球面像差校正之300kV場發射鎗掃描穿透式電子顯微鏡

邱柏翰博士


服務簡介

本核心設施提供樣品高解析穿透式電子顯微鏡技術,Spectra 300 S/TEM是一款先進的掃描穿透式電子顯微鏡 (FEG S/TEM),擁有60~300千伏的加速電壓範圍。儀器完全封裝在一個外殼內,專門設計用於抑制環境中的聲波和溫度變化。透過球面像差校正技術,可獲得試片樣品的超高解析影像、晶格影像、以及成分分析。

Spectra 300 S/TEM 是最高解析影像和成分分析平台,憑藉其寬間隙和60-300 kV的加速電壓範圍,為學術研究團隊提供高品質的影像和成分分析。同時,它亦為先進的研發和損傷分析提供最廣泛的研究可能。應用範圍包括金屬塊材析出物、變形組織研究、薄膜材料成分及厚度計算、相鑑定及成分分析等,提供高解析影像及成分報告。

Spectra 300 S/TEM不僅利用高解析掃描穿透式電子顯微鏡原子尺度成像功能,且提供材料在高解析影像上的成分分析。本核心設施的目標是建構Spectra 300 S/TEM電子顯微鏡之高解析影像與成分觀察,提供創新研究發展檢測平台。

服務內容

  1. TEM:可進行微結構觀察、明視野、暗視野影像分析、電子繞射等分析。高解析TEM影像,300kV之TEM影像使用單光束能譜過濾器 (Monochromator)輔佐影像球差修正器 (Cs Image)解析度為60 pm。
  2. STEM:高解析掃描穿透明、暗視野 (HR STEM BF and DF)影像。300kV STEM影像輔佐球差修正器 (Cs Probe)解析度為50 pm。
  3. EDS元素分析:不同維度之EDS定性及半定量成分分析。EDS搭配STEM的BF, DF2, DF4, HAADF偵測器同步獲取影像和光譜訊號可進行full frame、 選區和線掃描等掃描分析模式。
  4. 應力分析:電子束微區繞射收集使用分析軟體 (Epsilon),可以轉化為應力分布影像。

網頁資訊: https://www.hic.ch.ntu.edu.tw/TEM%E5%B7%A5/em4-02.html


聯絡資訊

楊哲人 教授
邱柏翰 博士
電子郵件:pohanchiu@ntu.edu.tw
電話:02-33665928