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國立中山大學貴重暨共用儀器中心
Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU
| Talos F200X G2, High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope | Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU | 本儀器配備Schottky field- emitter場發射電子源，可在80-200 kV加速電壓下提供高亮度電子束。儀器同時配備雙SDD-EDS、X-TWIN 透鏡、4Kx4K Ceta CCD 高速攝相機及三維分析試片座，適用於金屬、陶瓷、礦物、半導體、金屬有機框架及電子束敏感等奈米材料的顯微分析。材料的顯微組織，包括晶體結構、晶體形貌與尺寸和缺陷種類與分佈等，均可運用選區繞射（SAD）、匯聚束繞射（CBD）、奈米束繞射（NBD）、明視野像、暗視野像、和高解析（HR）原子影像等技術分析，掃描穿透功能同時提供明視野、暗視野、高角度暗視野影像（HAADF）及示差像對比影像(DPC/iDPC)，以及進一步運用STEM-EDS和HRSTEM-EDS能譜儀擷取點微區、線掃描或面分析的能譜資訊進行成分分析。本儀器配備高傾角試片座和三維重構試片座.，提供多樣的觀察與分析之用。委託分析服務以三小時為預約單位，基本服務每小時收費新台幣600元，(1)高解析成像(HRTEM)分析，(2)微區繞射(NBD)/ 聚束電子繞射(CBED)分析，每小時收費NT$100元。(3)EDS(點/線/面)分析，每小時收費NT$200元。(4)STEM (BF/DF/HAADF)分析與HRSTEM分析，每小時收費NT$300元。(5)示差像對比(DPC)影像STEM分析，每小時收費NT$300元。(6)高解析原子影像EDS(點/線/面)分析，每小時收費NT$500元。 |
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儀器中文名稱
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【EM025600】Talos F200X G2 高解析場發射掃描穿透式電子顯微鏡
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【EM025600】Talos F200X G2 高解析場發射掃描穿透式電子顯微鏡
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儀器英文名稱
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Talos F200X G2, High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope
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儀器類別
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電子顯微鏡
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儀器狀態
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服務(On Service)
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預約剩餘次數
(一個月內)
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校內預約剩餘次數: 20
校外預約剩餘次數: 15
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計費試算
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2
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國立中山大學貴重暨共用儀器中心
Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU
| Atom force microscopy | Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU | 高解析度探針顯微鏡
一. 廠牌型號: Veeco NanoScope IV
二. 服務項目: 表面形貌分析
三.收費標準:
(1)委託操作:計畫委託800元/hr 非計畫委託3500元/hr(包含一般探針費用，特殊探針另計)
(2)自行操作:500元/hr(包含一般探針費用，特殊探針另計)
收據請自行找技術人員領取，或附回郵信封可代為寄回
*** 線上預約(序號與時段)後，實驗日七天前(不包括當天)請務必要先打手機或實驗室分機連絡操作員確認時段，否則未以電話確認者，一律取消預約(不得使用)，不得有議！***
預約電話: (07)5252000-3722
(請直撥實驗室分機連絡操作員)
備註:
1.高解析度探針顯微鏡每次預約時段以1小時為單位。
2.相關AFM的資料可從中山大學物理系的網頁上下載。
3.定期有執照認證課程。南部地區皆需認證，中山校內強制認證，認證規則比照中山貴儀。完成認證者，須保持最少三個月上機操作1次。未達標準者，需再經管理者認證。 |
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儀器中文名稱
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【EM0000008806】高解析度探針顯微鏡
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【EM0000008806】高解析度探針顯微鏡
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儀器英文名稱
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Atom force microscopy
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儀器類別
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電子顯微鏡
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儀器狀態
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服務(On Service)
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預約剩餘次數
(一個月內)
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校內預約剩餘次數: 0
校外預約剩餘次數: 0
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計費試算
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國立中山大學貴重暨共用儀器中心
Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU
| Atom force microscopy | Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU | 變溫探針顯微鏡
一. 廠牌型號: SEIKO SPA 300HV
二. 服務項目: 表面各種特性分析
三. 收費方式:
(1)僅供委託操作:計畫委託800元/hr 非計畫委託3500元/hr(包含一般探針費用，特殊探針另計)
預約電話: (07)5252000-3722
(請直撥實驗室分機連絡操作員)
*** 線上預約(序號與時段)後，實驗日七天前(不包括當天)請務必要先打手機或實驗室分機連絡操作員確認，否則未以電話確認者，一律取消預約(不得使用)，不得有議！*** |
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儀器中文名稱
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【EM0000008804】變溫探針顯微鏡
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【EM0000008804】變溫探針顯微鏡
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儀器英文名稱
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Atom force microscopy
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儀器類別
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電子顯微鏡
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儀器狀態
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服務(On Service)
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預約剩餘次數
(一個月內)
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校內預約剩餘次數: 10
校外預約剩餘次數: 5
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計費試算
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4
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國立中山大學貴重暨共用儀器中心
Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU
| Auger Electron Spectroscopy | Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU | 歐傑電子能譜儀(AES)和X光光電子能譜儀(XPS)可用來分析材料表面組織形態及其化學結構 , 適用於薄膜、材料、電子、化學、化工、機械、電機等研究領域。
AES是利用一電子束為激發源 , 游離表面原子內層能階的電子使外層能階電子填補所產生的電洞 ,而釋出能量 , 進而傳輸給同原子的外層能階電子 , 造成接受能量電子的激發游離 , 而這游離的電子稱為毆傑電子 , 其具有特性的動能 , 而依據其動能判別其材料表面元素的種類。
XPS是利用光電效應 , 當材料表面被X-Ray(電磁波)照射時 , 原子內的電子吸收X-Ray能量後而游離出來 , 此電子稱光電子 , 其動能為入射電磁波的能量減去電子在原子中的束縛能 , 不同元素的光電子具有其特定的動能 , 因而可用來判定材料表面的元素成分。
儀器設備說明
█ 型 號 : JEOL , JAMP-9500F Auger Electron Spectroscopy
█ 主要規格 : 加速電壓 0.5~30KV , 能量解析度 0.8%
XPS X光源 - 雙陽極 Mg Kα/ Al Kα
Max power - Mg 500W / Al 600W
服務項目
█ Auger: 全能譜圖 , 單元素能譜圖 , 元素影像掃描 , 縱深分布圖
█ XPS: 化學態/成分分析 , 縱深分布圖
收費標準: 計畫收費每小時350元(包含樣品處理時間，樣品抽真空時間及關機等待的時間)
非計畫收費每小時3000元(包含樣品處理時間，樣品抽真空時間及關機等待的時間)
試片準備
(1)樣品不得具有磁性、毒性、輻射性或對真空腔體零件造成蝕損。
(2)樣品以低非揮發性為限,避免對超高真空系統造成污染。
(3)代測服務之樣品請送兩件, 以供測試發生困難時之需。
(4)樣品中若含有高揮發性分子或覆膜,請務必事先自行排氣抽淨。
(5)分析測試時,若發現送測樣品不符合規定,樣品將被退回,並依工作時數付費。
(6)AES : 面積0.8cm * 0.5cm之長方形,或直徑8mm之圓形,厚度 0.2cm
試片最大尺寸 ：9mm(直徑)x1mm(厚)
XPS : 試片尺寸： 9mm(長)x8mm(寬)x0.7mm(厚)
聯絡方式
指導教授: 陳致光 教授 , 工學院材料所
TEL: (07)5252000 ext4060
技術人員: 施 淑 女英 小姐
TEL: (07)5252000 ext 4083
MOBEL:0932854248
E-MAIL: amysy@mail.nsysu.edu.tw
儀器地點: 中山大學材料所理工實驗大樓 B棟 3025 室
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儀器中文名稱
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【ESCA00002100】歐傑電子能譜儀
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【ESCA00002100】歐傑電子能譜儀
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儀器英文名稱
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Auger Electron Spectroscopy
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儀器類別
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電子能譜儀
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儀器狀態
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服務(On Service)
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預約剩餘次數
(一個月內)
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校內預約剩餘次數: 0
校外預約剩餘次數: 0
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計費試算
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| 基礎服務 | 113 | AUGER單元素能譜圖-複製 |
| 小時 | 350 | 3,000 | 350 | 3,000 | 無折扣 |
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| 基礎服務 | 113 | AUGER單元素能譜圖-複製 |
| 小時 | 350 | 3,000 | 350 | 3,000 | 無折扣 |
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| 基礎服務 | 113 | AUGER元素影像掃描-複製 |
| 小時 | 350 | 3,000 | 350 | 3,000 | 無折扣 |
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| 基礎服務 | 113 | AUGER縱深分布圖-複製 |
| 小時 | 350 | 3,000 | 350 | 3,000 | 無折扣 |
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| 基礎服務 | 113 | AUGER縱深分布圖-複製 |
| 小時 | 350 | 3,000 | 350 | 3,000 | 無折扣 |
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| 基礎服務 | 113 | XPS化學態/成分分析-複製 |
| 小時 | 350 | 3,000 | 350 | 3,000 | 無折扣 |
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| 基礎服務 | 113 | XPS縱深分布圖-複製 |
| 小時 | 350 | 3,000 | 350 | 3,000 | 無折扣 |
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 | Loading… |
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國立中山大學貴重暨共用儀器中心
Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU
| Dual E-Beam Evaporator | Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU | 一、儀器功能：
薄膜沉積：可沉積各種不同金屬,合金與絕緣體皆可。
本實驗室提供Cu、Al、Ni、Ti鍍料及其坩堝；其餘鍍料及坩堝請自備 (本實驗室提供Mo坩堝,需要者可向儀器技數員購買)。
可通入氣體：N2、O2。
製程溫度最高可至350oC。
可雙槍(dual-gun)共鍍 : 可鍍各種不同合金。
真空度(base pressure)：5E-6 Torr。
二、設備規格及適用基板：
non-uniformity： < 10%
可同時放2”、 3”、 4”、 6” 基板六片及破片。
可放坩堝數目：Dual-gun共12顆。
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儀器中文名稱
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【SEMI003600】雙電子槍蒸鍍機
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【SEMI003600】雙電子槍蒸鍍機
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儀器英文名稱
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Dual E-Beam Evaporator
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儀器類別
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半導體製程類儀器
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儀器狀態
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服務(On Service)
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預約剩餘次數
(一個月內)
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校內預約剩餘次數: 0
校外預約剩餘次數: 0
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計費試算
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6
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國立中山大學貴重暨共用儀器中心
Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU
| Dual sources photoemission spectroscopy | Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU | 儀器設備說明
▊型號：Prevac, XPS/UPS system
▊規格：
1. 電子能量分析儀（energy analyzer）
用以量測光電子之動能
電子能量分析儀的操作壓力可由超高真空升級擴充為 1 mbar
超高真空下具備量測 XPS/UPS/AES/ 功能:
能量分析儀半徑：≥ 150 mm
通過能量 （Pass energy）：至少有1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200 eV
動能量測範圍：0 - 2000 eV，接受超過 2000 eV
能量解析（Energy resolution）: < 5 meV FWHM
偵測器種類：MCP-CCD
搭配單光儀 X 射線，在超高真空情況下，測量 Ag 3d ，其半高寬（FWHM）能量解析 ≤
0.47 eV
搭配真空紫外光源 (He I)，在超高真空情況下，測量 Ag，其費米能階 （Fermi level） 能量解析
≤ 170 meV
2. 單光儀 X 射線 （monochromated x-ray）:
陽極種類為 Al K-α 和 Ag， 在超高真空情況下，使用 Al K-α 測量 Ag 3d ，其半高寬
（FWHM）能量解析 ≤ 0.47 eV。
3. 真空紫外光源規格：使用 He I 測量 Ag，其費米能階能量解析 ≤ 170 meV 。
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儀器中文名稱
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【ESCA001800】常壓雙光源光電子能譜儀
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【ESCA001800】常壓雙光源光電子能譜儀
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儀器英文名稱
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Dual sources photoemission spectroscopy
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儀器類別
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電子能譜儀
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儀器狀態
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服務(On Service)
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預約剩餘次數
(一個月內)
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校內預約剩餘次數: 9
校外預約剩餘次數: 2
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計費試算
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國立中山大學貴重暨共用儀器中心
Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU
| Electron Paramagnetic Resonance spectrometer | Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU | 用於量測含有自由基或具有順磁性之樣品
型號: EMXnano BENCH-TOP SYSTEM STANDARD
型號: EMXplus-10/12/P/L SYSTEM
配有aqua X水溶液測量樣品槽、X-band波長微波、in situ光照系統、電化學測量裝置、Oxford mercury cryostat變溫設備等額外配件。 |
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儀器中文名稱
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【EPR000600】電子順磁共振光譜儀
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【EPR000600】電子順磁共振光譜儀
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儀器英文名稱
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Electron Paramagnetic Resonance spectrometer
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儀器類別
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電子順磁共振光譜儀
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儀器狀態
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服務(On Service)
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預約剩餘次數
(一個月內)
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校內預約剩餘次數: 90
校外預約剩餘次數: 78
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計費試算
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| 基礎服務 | 113 | 非水氧敏感樣品前處理 |
| 單一樣品 | 150 | 1,000 | 0 | 0 | 無折扣 |
| 提供非水氧敏感樣品前處理 |
| 基礎服務 | 113 | 水氧敏感樣品前處理 |
| 單一樣品 | 300 | 2,000 | 0 | 0 | 無折扣 |
| 提供水氧敏感樣品前處理 |
| 基礎服務 | 113 | 室溫基本量測 |
| 單一樣品 | 200 | 1,000 | 0 | 0 | 無折扣 |
| 在室溫下量測固、液、氣態樣品電子自旋共振光譜 |
| 基礎服務 | 113 | 液氮定溫量測 |
| 150分鐘 | 200 | 2,000 | 200 | 2,000 | 無折扣 |
| 使用Finger dewar裝填液態氮冷凍樣品進行電子自旋共振光譜量測 |
| 基礎服務 | 113 | 汞燈照射 |
| 單一樣品15分鐘內每單一波長 | 230 | 1,200 | 230 | 1,200 | 無折扣 |
| 以汞燈照射固、液、氣態樣品樣品臨場 (in-situ)測量電子自旋共振光譜 |
| 基礎服務 | 113 | 液氮變溫量測 |
| 單一樣品每單一溫度/30分鐘 | 400 | 2,000 | 400 | 2,000 | 無折扣 |
| 於不同溫度(77–340K)下臨場量測 固、液、氣態樣品電子自旋共振光譜
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| 基礎服務 | 113 | 汞燈裝置架設 |
| 單一預約序號 | 400 | 0 | 400 | 0 | 無折扣 |
| 欲使用電汞燈光照系統須加收設備架設費。 |
| 基礎服務 | 113 | 液氮變溫裝置架設 |
| 1 次 | 1,000 | 0 | 1,000 | 0 | 無折扣 |
| 液氮變溫裝置架設 |
| 基礎服務 | 113 | 液氦變溫測量架設 |
| 單一預約序號 | 1,200 | 0 | 1,200 | 0 | 無折扣 |
| 欲使用液氦變溫測量加收設備架設費 |
| 基礎服務 | 113 | 液氦變溫量測 |
| 單一樣品當一溫度/120分鐘 | 800 | 6,000 | 800 | 6,000 | 無折扣 |
| 量測溫度範圍： 4 ~ 77 K 液氦溫度(4 ~ 77 K)每年會在2、5、8和11月公告進行收件，如有急需使用者，可獨立或找人湊滿 40 枝樣品，亦或自購一桶液氦，即可為您安排實驗。 |
| 基礎服務 | 113 | DMPO試劑 |
| 單位 | 200 | 1,000 | 0 | 0 | 無折扣 |
| spin trap試劑，最低價格1000起，依實際使用數量計價；預計使用spin trap試劑或其他服務前，請致電操作員討論 |
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國立中山大學貴重暨共用儀器中心
Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU
| FEI Tecnai F20 G2 Field-emission Scanning Transmission Electron Microscope | Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU | 本儀器配備Schottky-emitter場發射電子源，可在120-200 kV加速電壓下提供高亮度電子束。儀器同時配備SDD-EDS、電子能耗能譜儀 (EELS) 和 2Kx2K CCD 相機，適用於金屬、陶瓷、礦物、半導體和奈米材料的顯微分析。材料的顯微組織，包括晶體結構、晶體形貌與尺寸和缺陷種類與分佈等，均可運用選區繞射（SAD）、匯聚束繞射（CBD）、奈米束繞射（NBD）、明視野像、暗視野像、和高解析（HR）原子影像等技術分析，掃描穿透功能同時提供明視野與高角度暗視野（HAADF）影像，以及進一步運用EDS或EELS能譜儀擷取點微區、線掃描或面分析的能譜資訊進行成分分析。本儀器配備高傾角試片座和低溫試片座，提供多樣的觀察與分析之用。委託分析服務以三小時為預約單位，基本服務每小時收費新台幣600元，(1) 高解析影像、(2) NBD/CBD、(3) STEM（HAADF）(4) EDS（點，線，面）等四項分析每小時加收新台幣100元，電子能量損失能譜（EELS/GIF）分析每小時加收新台幣200元。 |
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儀器中文名稱
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【EM0000011300】FEI Tecnai F20 G2 場發射掃描穿透式電子顯微鏡
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【EM0000011300】FEI Tecnai F20 G2 場發射掃描穿透式電子顯微鏡
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儀器英文名稱
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FEI Tecnai F20 G2 Field-emission Scanning Transmission Electron Microscope
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儀器類別
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電子顯微鏡
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儀器狀態
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服務(On Service)
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預約剩餘次數
(一個月內)
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校內預約剩餘次數: 20
校外預約剩餘次數: 18
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計費試算
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9
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國立中山大學貴重暨共用儀器中心
Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU
| Field Emission Electron Probe Microanalyzer JEOL JXA 8530F | Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU | 壹、儀器設備說明
本儀器型號為 JEOL JXA 8530F Field Emission Electron Probe Microanalyzer
主要規格：加速電壓1KV~30KV，WDS可偵測範圍5B~92U，EDS可偵測範圍5B ~92U
電子微探儀可以針對金屬、電子、陶瓷、礦物等材料，進行微區域之成分定性及定量分析，大區域和高倍率（100,000X以內)之元素特性X光、二次電子、背向散射電子（BEI）等影像觀察，其測定之精確度比一般EDS高許多，是微區域成份分析很好的工具。
貳、服務項目
微區域之定性、定量分析、二次電子(SEI)、背向散射電子(BEI)影像之觀察。元素Ｘ光影像(X-Ray Mapping)、線掃描(Line Scanning)。
參、試片準備
欲做定量分析、線掃瞄、元素Ｘ光影像(X-Ray Mapping)分析之試樣，其上下兩面需平整平行，並將分析面拋光。如為不導電試樣，需先蒸鍍一層導電覆膜〔一般為碳〕或經其他特別處理。
Hot Mount或Cold Mount其尺寸為直徑35 mm或25 mm、高20 mm。其餘試樣直徑小於20mm、高小於13mm。其它尺寸可直接來電詢問。
肆、收費標準
每時段(三小時)NT$1800元，含SEI、BEI影像觀察。
元素分析另外收費，
1.定量分析/每點 20元
2.定性分析/每點 80元
3.元素分佈、線分析/每次500 元 |
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儀器中文名稱
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【EPMA000100】高解析電子微探儀
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【EPMA000100】高解析電子微探儀
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儀器英文名稱
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Field Emission Electron Probe Microanalyzer JEOL JXA 8530F
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儀器類別
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電子微探儀
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儀器狀態
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服務(On Service)
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預約剩餘次數
(一個月內)
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校內預約剩餘次數: 0
校外預約剩餘次數: 0
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計費試算
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國立中山大學貴重暨共用儀器中心
Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU
| Field-Emission Scanning Electron Microscope | Joint Center for High Valued Instruments at NSYSU | JEOL JSM-6330TF場發射型掃描式電子顯微鏡
一. 服務項目:SEI/BEI/EDS/CL
二. 收費標準(有計畫):
1. SEM操作每一小時收費300元(未滿者亦以一小時計)。一個時段3小時 每次最低收費 900元。
2. EDS系統加收50元/點。
3. CL 系統加收150元/HR。
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儀器中文名稱
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【EM001500】場發射型掃描式電子顯微鏡
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【EM001500】場發射型掃描式電子顯微鏡
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儀器英文名稱
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Field-Emission Scanning Electron Microscope
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儀器類別
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電子顯微鏡
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儀器狀態
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服務(On Service)
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預約剩餘次數
(一個月內)
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校內預約剩餘次數: 65
校外預約剩餘次數: 29
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計費試算
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