雙球面像差校正300 kV場發射掃描穿透式電子顯微鏡

雙球面像差校正 300 kV 場發射掃描穿透式電子顯微鏡

( Spectra 300 Double Cs-Corrected 300 kV S/TEM )

服務負責人

邱柏翰博士

服務簡介

本尖端設施提供先進之高解析穿透式電子顯微鏡分析服務，採用 Thermo Fisher Spectra 300 S/TEM，為具備雙球面像差校正（Cs-corrected）與單光束能譜過濾器（Monochromator） 之300 kV場發射掃描穿透式電子顯微鏡，屬於國內少數具備原子尺度解析能力之尖端分析平台。

本尖端設施支援 60–300 kV 加速電壓範圍，並採全封閉式系統設計，有效抑制環境聲波與溫度擾動，確保高穩定度與高再現性之量測品質。透過球面像差校正技術，可進行原子尺度高解析成像、晶格結構觀察及高靈敏度之成分分析，適用於各類先進材料研究與研發分析需求。

本服務平台特別適合應用於 金屬材料、功能性薄膜、奈米結構材料及先進合金系統，可支援微結構解析、相鑑定、成分分布與局部結構分析，提供高品質且具研究價值之分析結果。

服務特色與應用範圍

  • 原子尺度高解析影像與晶格結構觀察
  • 微區成分分析與元素分布量測
  • 金屬塊材析出物與變形組織分析
  • 薄膜材料之成分分析與厚度評估
  • 相鑑定與局部結構解析
  • 研發分析與失效分析支援

服務內容

  • TEM（穿透式電子顯微鏡）

    可進行微結構觀察、明視野（BF）、暗視野（DF）影像分析及電子繞射分析。於 300 kV 操作條件下，搭配 Monochromator 與影像球差修正器（Cs Image），理論影像解析度可達約 60 pm（視操作條件與樣品狀態而定）。

  • STEM（掃描穿透式電子顯微鏡）

    提供高解析 STEM 明視野與暗視野（HR STEM BF/DF）影像。於 300 kV 條件下，搭配探針球差修正器（Cs Probe），理論探針解析度可達約 50 pm（於最佳校正條件下）。

  • EDS 元素分析

    提供 EDS 定性及半定量成分分析服務，可搭配 STEM 模式同步取得 BF、LADDF 與 HAADF 影像與光譜訊號，支援全區分析、選區分析及線掃描分析等模式。

  • 應力分析

    利用電子束微區繞射資料，透過分析軟體（Epsilon）進行數據轉換，可獲得材料之應力分布影像，適用於具備明確晶體結構與良好繞射品質之材料系統。

聯絡資訊

顏鴻威 教授
邱柏翰 博士
電子郵件：pohanchiu@ntu.edu.tw
電話：02-3366-5928